光氧催化廢氣處理設(shè)備技術(shù)利用光激發(fā)氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結(jié)合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯(lián)苯等難降解物質(zhì)。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協(xié)同效應(yīng)，使H2O2分解產(chǎn)生羥基自由基的速率大大加快，促進(jìn)有機(jī)物的氧化去除。應(yīng)用于工業(yè)廢氣治理中的紫外線波長為154nm-254nm，波長越短能量越大。在這個波長區(qū)域中，由于154nm-185nm的波長相對比較短所以“殺傷”的空間范圍也較小。而185nm-254nm盡管波長較長但是殺傷空間范圍相對較大。

光氧催化廢氣處理設(shè)備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產(chǎn)生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），眾所周知臭氧對有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對工業(yè)廢氣及其它異味有立竿見影的清除效果.